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流量傳感器 FS1015CL
FS1015CL系列氣體質量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。測量范圍最大到150SLPM，ISO15mm連接方式適用于呼吸機、麻醉機等多種醫(yī)療設備。
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